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( 一 ) 亂流式
1)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)的空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。
2)氣流非直線塑運(yùn)動(dòng)，而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)，
3 )此形式適用于潔凈室等級(jí)為1000-100000級(jí)
4 )亂流式的優(yōu)點(diǎn)
①構(gòu)造簡(jiǎn)單。
②系統(tǒng)建造成本低。
③潔凈室的擴(kuò)充比較容易
④在某些特殊用途場(chǎng)所。
⑤可并用無(wú)塵工作臺(tái)D
⑥提高潔凈室等級(jí)。
5)亂流式的缺點(diǎn)
①亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。
②若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)后再激活，欲達(dá)需求的潔凈度.往往需耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間。
(2 )層流式層流式潔凈室空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻的直線形。空氣由覆蓋率100% 的過(guò)濾器進(jìn)人室內(nèi).并由髙架地板或兩隔墻板回風(fēng)。此形式適用于潔凈室等級(jí)需求較髙的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為1 -100級(jí)。
( 二 ) 水平層流式
①水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
②水平層流式的優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單.運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
③水平層流式的缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高.室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
垂直層流式
①房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹。
②可得到較高的潔凈度.在制造過(guò)程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖偻瞥鍪彝舛粫�(huì)影晌其他工作區(qū)域。
③垂直層流式的優(yōu)點(diǎn)
a.彈性擴(kuò)充容易。
b .運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)。
c .不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
④垂直層流式的缺點(diǎn)
a.構(gòu)造費(fèi)用較高。
b.彈性運(yùn)用空間困難。
c.頂?shù)牡跫芟喈?dāng)占空間。
d.維修更換過(guò)濾器較麻煩。
(三) 復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈的空氣。
1)潔凈隧道
①以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋，使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至丨0 級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用.
②此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì).ULSI制程大都采用此種形式。
③潔凈隧道的優(yōu)點(diǎn)
a .彈性擴(kuò)充容易。
b .維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
2)潔凈管道
①將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。
②因產(chǎn)品和作業(yè)員以及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度。
③可節(jié)省能耗.不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。
④藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用.
3 )并裝局部潔凈室
①將潔凈室等級(jí)10000〜100000的亂流潔凈室內(nèi)產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10-1000級(jí)以上，為生產(chǎn)之用。
②潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚，潔凈風(fēng)柜即屬此類.
③潔凈工作臺(tái)潔凈等級(jí)為1--100級(jí)。
④潔凈工作擁潔凈工作為在亂流式的潔凈室空間內(nèi)以防靜電的透明塑料布圍成小空間，采用獨(dú)立的HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級(jí)的潔凈空間.其等級(jí)為10-1000級(jí).高度在2. 5m左右，覆蓋面積約10m3以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。
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