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塵埃粒子最高允許數（每立方米）：大或等于0.5微米的粒子數不能超出3500000個，大或等于5微米的粒子數不能超出20000個；
微生物最高允許數：10萬級無塵車間標準是：浮游菌數不能超出500個每立方米；沉降菌數不能超出10個每培養皿。
壓差：相同潔凈度等級的潔凈車間壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈車間之間壓差要≥5Pa，潔凈車間與非潔凈車間之間要≥10Pa。
10萬級無塵室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈服不產生舒適感為宜，溫度一般控制在秋冬季20~22℃；春夏季24~26℃；波動±2℃。秋冬季潔凈車間空氣濕度控制在30-50%，春夏季潔凈車間空氣濕度控制在50-70%。
配電：潔凈室（區）的主要生產用地一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制
一、動態檢測時，萬級無塵室內的噪音級不得超出70分貝A。
二、靜態檢測時，萬級亂流無塵室的噪音級不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬級無塵室主要采用的送風方式；
1、局部孔板頂棚送風；
2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；
3、上側墻送風 等三種送風方式。
10萬級無塵室主要采用的回風方式：
1、單側墻下部布置回風口；
2、當采用過道回風時，在過道內均勻布置回風口或在過道端部集中設置回風口。
送風口風速米/秒：
1、孔板孔口3~5；
2、側送風口：
（1）貼附射流2~5；
（2）非貼附射流同側墻下部回風1.5~2.5，對側墻下部回風1.0~1.5。
回風口風速（米/秒）：
1、無塵室回風口不超2；
2、過道內回風口不超4。
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